高溫（wēn）壓力傳感（gǎn）器是工業實踐中蕞為常用的一種壓力變送器，其廣（guǎng）泛應用於各種工（gōng）業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能（néng）建築（zhù）、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道（dào）送風、鍋爐，熔爐等眾多行業。

     高溫壓力傳感器是為了解（jiě）決在高溫環（huán）境下對各種氣體、液體的壓力進行測量。主要用於（yú）測量鍋爐、管道、高溫反應容器內（nèi）的（de）壓力、井下壓力和各種發動（dòng）機（jī）腔體內的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等（děng）領域。目前，研究比（bǐ）較多的高溫壓力傳感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導體傳感器，還有濺射合（hé）金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力（lì）傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導體電容式壓力傳感（gǎn）器相比壓阻式壓力傳感器其（qí）靈敏度高、溫度穩定性好、功耗小，且（qiě）隻對壓力敏感，對應力（lì）不敏（mǐn）感，因此，電容式壓（yā）力傳感器在許多領域得到廣泛應（yīng）用。

     高溫壓力傳感器由矽膜片（piàn）、襯底、下電和絕（jué）緣層構成。其中下電位於厚（hòu）支撐的襯（chèn）底上。電（diàn）上蒸鍍一層絕緣（yuán）層。矽膜片則（zé）是利用各向異性（xìng）腐蝕技術，在一片矽片上從正反麵腐蝕形成的。上下電的間隙由矽片的腐蝕深度決定。矽膜片和襯底利用鍵合（hé）技術鍵合在一起，形成具有一定穩定性的矽膜片電容壓力傳（chuán）感器。