高溫壓力傳感（gǎn）器是工業實踐中蕞為（wéi）常用的一種壓（yā）力變（biàn）送器，其廣泛應用於各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建築、生產自控、航空航（háng）天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐，熔爐等眾（zhòng）多行業（yè）。

     高溫壓力傳感器是為了解決在高溫環境下對各種氣體、液體的壓力進行（háng）測量。主要用於測量鍋爐、管道、高溫反應容器內的壓力、井下壓力和各種發動機腔（qiāng）體內的壓力、高溫油（yóu）品液位（wèi）與檢測、油井測壓（yā）等領域。目前，研究比較多的高溫壓力傳感（gǎn）器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導體傳感器，還有濺射合（hé）金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電（diàn）容式壓力傳感器（qì）等。半導體電（diàn）容式壓力傳感器相比壓（yā）阻式壓力傳感（gǎn）器其靈敏度高、溫（wēn）度穩定性好、功耗小，且隻對壓力敏感，對應力不敏感（gǎn），因此（cǐ），電容式壓力（lì）傳感器在許多領域（yù）得到廣泛應用。

     高（gāo）溫（wēn）壓力傳感（gǎn）器（qì）由矽膜（mó）片、襯底、下電和絕緣層構成（chéng）。其中（zhōng）下電位於（yú）厚支撐的襯底上。電上蒸鍍一層絕緣層。矽膜片則是利（lì）用各（gè）向異性腐蝕技術，在一（yī）片矽片上從（cóng）正（zhèng）反（fǎn）麵腐蝕形成的。上下電的間隙（xì）由矽片的腐蝕（shí）深度決定。矽膜片和襯底利用鍵合技術鍵合在一起，形成具有一（yī）定穩定性的矽膜片電容（róng）壓力傳感器。