用電測法測量非(fēi)電學量時,先必須將(jiāng)被測的非(fēi)電學量轉換為(wéi)電學量而後(hòu)輸入之。通常把非電學量變換成電學量(liàng)的元件稱為變換器;根據不同非電學量(liàng)的特點設計成的有關轉換裝置稱(chēng)為傳感器,而被測的力學量(liàng)(如位(wèi)移(yí)、力、速度等)轉換成電容變化的傳感器稱為電容傳感器。
電容傳感器的工作原理是利用力學量變化使電容(róng)器中(zhōng)其(qí)中的一個參(cān)數發生變化的(de)方法來實現信號變換的。根據改變電容器的參數不同,電容(róng)傳(chuán)感器可(kě)有(yǒu)3類:
電容傳感器的原理及應(yīng)用1. 改變板遮蓋麵積的電容傳感器
圖1是3種這(zhè)類傳感器(qì)的原理圖,圖1(a)中是利用角位移(yí)來改變電(diàn)容器板遮蓋(gài)麵積。假定當2塊板完全遮蓋時(shí)的麵積為S,兩板間的(de)距離為d,板間介(jiè)質的介電常數為ε。當忽略邊緣效應時,該電容器的電容量為:
如果其中一塊板相對另一板轉過θ角,則板間(jiān)的相互遮蓋麵積為:
可見(jiàn),此電容(róng)量的變化值和角位移(yí)成正比,以此用來測量角位移。
圖1(b)中是利用線位移來改變電容器板的遮蓋麵積的。如果初始狀況板全部遮(zhē)蓋(gài),則遮(zhē)蓋麵積S=ab,當2塊板相(xiàng)對位移(yí)x時,則板的遮蓋麵積(jī)變為S=b(a-x)。在介電常數和板距離不變時,電容量分別為:
可見,此電容(róng)量的變化(huà)值和線位(wèi)移x成正比,用他來測量各(gè)類(lèi)線位移。
圖1(c)所示電容變換器(qì)是圖1(b)所示電容器的變種。采用(yòng)這種鋸齒形電(diàn)的(de)目的在於提高(gāo)傳感器的靈敏度。若鋸齒數為n,尺寸如圖1(b)所示不變(biàn),當運動齒相對於固(gù)定齒(chǐ)移動一個位移x時,則可得:
比較式(2)和式(3)可見,靈敏度提高了n倍。
電容傳感器的原理及應用2. 改(gǎi)變介質(zhì)介(jiè)電常數的電容傳感(gǎn)器
圖2是2種改變介質介電常數的電容式傳感器的原理圖。圖2(a)常用來(lái)檢測液位的高度,圖2(b)常用來檢測片狀材料的厚度(dù)和介電常數。
圖2(a)中由(yóu)圓筒1和圓柱2構成電容器(qì)兩,假(jiǎ)定部分浸入被測量液體中(液體應不能導電,若(ruò)能導電,則電需作絕緣(yuán)處理)。這樣,板間的介質由2部分組成:空氣介(jiè)質和液體介質,由此(cǐ)而形(xíng)成的電容式料位傳感器,由於(yú)液體介質的液麵發生變(biàn)化,從而導致電容器的(de)電容C也發生變化(huà)。這種方法測量的精度很高,且不受周圍環境的影響。總(zǒng)電容C由(yóu)液體介質(zhì)部分電容C和空氣介質部分電容C兩部分組成:
x — 電容器浸入液體中的深度;
R — 同心圓電的(de)外半徑(jìng);
r — 同心圓電的內半徑(jìng);
ε — 被測液體的介電常數(shù);
ε — 空氣的(de)介電常數。
當(dāng)容器的(de)尺寸(cùn)和被測介質確定後(hòu),則h,R,r,ε和ε均為常數,令:
這說明,電容(róng)量C的大小與電容器浸入液體的深度x成正比。
圖2(b)是在一個固定電容器的板之間放入被測片狀材料(liào),則(zé)他的電容量為:
式(shì)中:S — 電容器(qì)的遮(zhē)蓋麵積(jī);
d — 被測物體上側至電之間的距離;
d — 被測物體的厚度;
d — 被測物體下側至電之間的距離;
ε — 被測物體上側至電之間介質的介電常數;
ε — 被(bèi)測物體的介電常數;
ε — 被測物體下側至電之間介質的介電常數。
由於d+d=d-d,且當ε=ε時,式(5)還可寫為(wéi):
式中d — 兩板之間的距離。
顯然,在電容(róng)器板的(de)遮蓋麵(miàn)積S,兩(liǎng)板之間(jiān)的距離d,被(bèi)測物體上下側至電之間介質的介電常數ε和ε確定(dìng)時,電容量的大小就和被測材料的厚度d及介電常數ε有關。如被測材(cái)料介(jiè)電常數ε已知,就可以測量等厚教材料的厚度d;或者被測材(cái)料的厚度d已知,就(jiù)可測量其介(jiè)電常數ε。這就是電容(róng)式測厚儀和電(diàn)容式介電常數測量儀的工作原理。
電容傳感器的原理及應用3. 改變板間距離的電容傳(chuán)感器
圖3是這(zhè)類傳感器的原理圖,圖3(a)由2塊板構成,其(qí)中板2為固定板,板1為與被測物(wù)體相(xiàng)連的活動(dòng)板,可上下(xià)移動。當板間(jiān)的遮蓋(gài)麵積為S,板間(jiān)介質的介電常數為(wéi)ε,初始板間距為d時,則初始電容C為:
當(dāng)活動板1在(zài)被測物體的作用下向固定板2位(wèi)移Δd 時,此時電容C為:
當電容器的活動板1移動小(xiǎo)時,即Δd<<d時,上式按泰勒級數展開(kāi)為(wéi):
這時電容器的變化(huà)量ΔC才近似(sì)地(dì)和位移Δd成正(zhèng)比。其相對非線性誤差為:
顯然,這種(zhǒng)單邊活動的電容傳感器隨著測(cè)量範圍的增大,相應的誤差也增大。在(zài)實際應用中,為了提高這類傳感器靈敏度、提高測量範圍和減小非線(xiàn)性誤差(chà),常做成差動式電(diàn)容器及互感器電橋(qiáo)組合(hé)結(jié)構,如圖3(b)所示。兩邊(biān)是固定(dìng)的電板1和2,中間由彈簧(huáng)片(piàn)支承的活動板3。2個(gè)固定板(bǎn)與互感器兩端及交流電源U相連接,活動板連接端子和互感器中間抽頭端子為傳感(gǎn)器的(de)輸出端,該輸(shū)出端電壓ΔU隨著活動板運動而變(biàn)化。若活動(dòng)板的初始位置距2個固定板的距離均為d,則固(gù)定板(bǎn)1和活動板3之間 ,固定2和(hé)活動板3之間的初始(shǐ)電容相等,若令其為C。當活動板3在被測物體作用下向固定板2移動Δd時,則位於中間的活(huó)動板(bǎn)到兩側的固定板的距離分別為:
由上述推導可知,活動板和(hé)2個固定板構(gòu)成電容分別為:
當他們做成(chéng)差(chà)動(dòng)式電(diàn)容器及互(hù)感器電(diàn)橋組合(hé)結(jié)構時,其等效電(diàn)容為:
雖然電容(róng)的變化量仍舊和位移Δd成非線性關(guān)係,但是消除(chú)了級數中的偶次項(xiàng),使線性(xìng)得到(dào)改善。當時(在微(wēi)小量檢測中,如線膨脹測(cè)量等,一般都能滿足(zú)這個(gè)條件),略去高次(cì)項,得:
比(bǐ)較式(9)和式(7)可見,靈敏(mǐn)度提高了1倍。
比較式(10)和式(8)可見,在時(shí),非線性誤(wù)差將大大下降(jiàng)。
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